功 能 性 W A F E R | T C W a f e r | 无 线 晶 圆 测 温 系 统 | R T D 晶 圆 测 温 系 统 广 东 瑞 乐 半 导 体 科 技 广 东 瑞 乐 半 导 体 科 技 有 限 公 司 T o g g l e n a v i g a t i o n T o g g l e n a v i g a t i o n 广 东 瑞 乐 半 导 体 科 技 有 限 公 司 首 页 走 进 瑞 乐 全 部 企 业 简 介 企 业 文 化 荣 誉 资 质 产 品 中 心 全 部 晶 圆 测 温 系 统 功 能 性 校 准 片 应 用 领 域 全 部 干 / 湿 法 刻 蚀 湿 法 清 洗 薄 膜 沉 积 （ P V D / C V D / A L D ） 静 电 卡 盘 / 加 热 炉 / 加 热 台 涂 胶 显 影 / 探 针 台 测 温 天 车 / 晶 圆 传 输 检 测 晶 圆 临 时 键 合 R T P 快 速 退 火 晶 圆 顶 针 、 机 械 手 等 行 业 前 沿 全 部 企 业 动 态 行 业 新 闻 常 见 问 题 联 系 我 们 应 用 领 域 干 / 湿 法 刻 蚀 M o r e 湿 法 清 洗 M o r e 薄 膜 沉 积 （ P V D / C V D / A L D ） M o r e 静 电 卡 盘 / 加 热 炉 / 加 热 台 M o r e 涂 胶 显 影 / 探 针 台 测 温 M o r e 天 车 / 晶 圆 传 输 检 测 M o r e 瑞 乐 · 五 大 优 势 0 1 专 业 的 温 度 测 量 工 具 专 业 的 T C W a f e r 、 R T D W a f e r 、 O n W a f e r 测 温 系 统 ， 提 供 精 确 测 温 保 障 ， 成 熟 测 温 系 统 软 件 ， 具 备 M a p p i n g 功 能 ， 温 度 情 况 一 目 了 然 多 尺 寸 W a f e r 可 供 选 择 ， 满 足 客 户 不 同 W a f e r 尺 寸 的 测 温 要 求 0 2 多 功 能 晶 圆 测 试 片 A T S 晶 圆 型 中 心 校 准 片 A M S 晶 圆 型 多 功 能 测 试 片 A L S 晶 圆 型 水 平 测 试 校 准 片 0 3 提 供 定 制 化 产 品 测 温 材 质 可 选 择 硅 晶 片 、 蓝 宝 石 等 提 供 多 种 尺 寸 的 晶 圆 供 选 择 晶 圆 形 状 有 圆 形 和 方 形 等 选 择 测 温 点 数 ： 1 8 1 点 0 4 专 业 售 前 ， 快 速 售 后 配 备 专 业 的 售 前 和 售 后 服 务 工 程 师 提 供 售 前 产 品 咨 询 、 选 型 、 购 买 和 售 后 安 装 、 使 用 、 维 护 服 务 提 供 完 整 的 产 品 培 训 服 务 0 5 晶 圆 制 造 的 舒 适 旅 途 温 度 、 振 动 、 水 平 、 间 隙 、 湿 度 、 压 力 、 加 速 度 的 晶 圆 测 量 片 产 品 中 心 A M S 晶 圆 型 多 功 能 测 试 片 A M S 晶 圆 型 多 功 能 测 试 片 A M S 无 线 晶 圆 校 准 测 量 系 统 通 过 专 业 技 术 将 多 个 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 ， 能 够 快 速 测 量 加 速 度 、 振 动 、 水 平 、 调 平 角 . . . 查 看 详 情 A T S 晶 圆 型 中 心 校 准 片 A T S 晶 圆 型 中 心 校 准 片 A T S 无 线 晶 圆 校 准 测 量 系 统 将 机 器 视 觉 及 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 ， 实 现 捕 获 偏 移 数 据 （ x 轴 、 y 轴 ） ， 以 快 速 校 准 晶 . . . 查 看 详 情 A G S 晶 圆 型 间 隙 量 测 片 A G S 晶 圆 型 间 隙 量 测 片 A G S 无 线 晶 圆 校 准 测 量 系 统 将 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 实 现 高 精 度 的 间 隙 测 量 ， 对 于 薄 膜 沉 积 、 溅 射 和 蚀 刻 等 半 导 体 工 艺 ， . . . 查 看 详 情 V M S 晶 圆 型 厚 度 量 测 片 V M S 晶 圆 型 厚 度 量 测 片 V M S 无 线 校 准 测 量 晶 圆 系 统 将 机 器 视 觉 及 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 ， 实 现 捕 获 边 缘 位 置 厚 度 数 据 ， 实 现 对 腔 体 内 晶 圆 刻 蚀 . . . 查 看 详 情 A L S 晶 圆 型 水 平 校 准 片 A L S 晶 圆 型 水 平 校 准 片 A L S 无 线 校 准 测 量 晶 圆 系 统 通 过 专 业 技 术 将 多 个 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 ， 能 够 快 速 测 量 晶 圆 载 盒 、 F O U P 、 晶 圆 自 动 化 . . . 查 看 详 情 A V S 晶 圆 型 振 动 量 测 片 A V S 晶 圆 型 振 动 量 测 片 A V S 晶 圆 型 振 动 量 测 片 通 过 专 业 技 术 将 多 个 传 感 器 模 块 集 成 到 晶 圆 上 ， 在 半 导 体 制 造 过 程 中 ， 利 用 A V S 三 轴 加 速 度 对 晶 圆 . . . 查 看 详 情 O n W a f e r W L S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 O n W a f e r W L S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 O n W a f e r W L S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 通 过 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 传 感 器 嵌 入 晶 圆 集 成 ， 实 时 监 控 和 . . . 查 看 详 情 O n W a f e r W H S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 O n W a f e r W H S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 O n W a f e r W H S 无 线 晶 圆 测 温 系 统 通 过 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 传 感 器 嵌 入 晶 圆 集 成 ， 实 时 监 控 . . . 查 看 详 情 R T D W a f e r 无 线 晶 圆 测 温 系 统 R T D W a f e r 无 线 晶 圆 测 温 系 统 R T D W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 利 用 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 R T D 传 感 器 集 成 到 晶 圆 表 面 ， 实 时 监 控 和 . . . 查 看 详 情 T C W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 T C W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 T C W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 通 过 利 用 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 耐 高 温 的 热 电 偶 传 感 器 镶 嵌 在 晶 圆 表 面 ， 实 时 监 控 和 记 . . . 查 看 详 情 R T D W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 R T D W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 R T D W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 利 用 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 R T D 传 感 器 集 成 到 晶 圆 表 面 ， 实 时 监 控 和 记 录 . . . 查 看 详 情 定 制 型 W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 定 制 型 W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 定 制 型 W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 利 用 自 主 研 发 的 核 心 技 术 将 高 精 度 传 感 器 集 成 到 晶 圆 / 蓝 宝 石 / 碳 化 硅 等 基 材 表 面 ， . . . 查 看 详 情 查 看 更 多 走 进 瑞 乐 广 东 瑞 乐 半 导 体 科 技 有 限 公 司 G u a n g d o n g R u i l e S e m i t e c h n o l o g y C o . , L t d 广 东 瑞 乐 半 导 体 科 技 有 限 公 司 （ G u a n g d o n g R u i l e S e m i T e c h C O . , L t d . ） 成 立 于 2 0 1 6 年 ， 是 一 家 专 精 于 半 导 体 温 度 测 量 和 功 能 测 量 产 品 ， 集 研 发 、 设 计 、 制 造 、 销 售 及 产 业 链 服 务 为 一 体 的 高 科 技 公 司 ， 同 时 是 具 备 优 秀 的 自 主 创 新 能 力 的 高 价 值 公 司 。 公 司 积 累 了 半 导 体 行 业 温 度 测 量 领 域 多 年 经 验 ， 融 入 当 今 先 进 的 工 业 计 算 机 技 术 ， 在 专 业 技 术 上 不 断 迭 代 创 新 ， 短 短 几 年 内 ， 垂 直 发 展 成 为 半 导 体 行 业 测 温 设 备 的 专 业 供 应 商 ， 成 为 在 该 领 域 具 有 较 强 影 响 力 的 公 司 。 公 司 主 要 产 品 有 T C W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 、 R T D W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 （ 有 线 / 无 线 ） 、 O n W a f e r 无 线 晶 圆 测 温 系 统 、 定 制 型 W a f e r 晶 圆 测 温 系 统 ， A M S 晶 圆 型 多 功 能 测 试 片 、 A T S 晶 圆 型 中 心 校 准 片 、 A G S 晶 圆 型 间 隙 量 测 片 、 V M S 晶 圆 型 厚 度 量 测 片 、 A L S 晶 圆 型 水 平 校 准 片 、 A V S 晶 圆 型 振 动 量 测 片 、 A V L S 晶 圆 型 振 动 水 平 测 量 校 准 片 等 ， 为 半 导 体 企 业 提 供 高 精 度 的 晶 圆 测 温 解 决 方 案 和 晶 圆 校 准 测 量 解 决 方 案 。 查 看 详 情 行 业 前 沿 N E W S 企 业 动 态 行 业 新 闻 瑞 乐 半 导 体 — — O n W a f e r W L S W E T 湿 法 无 线 晶 圆 测 温 系 统 是 半 导 体 先 进 制 程 监 控 领 域 的 重 要 创 新 成 果 O n W a f e r W L S W E T 无 线 晶 圆 测 温 系 统 是 半 导 体 先 进 制 程 监 控 领 域 的 重 要 创 新 成 果 。 该 系 统 通 过 自 主 研 发 的 核 心 技 术 ， 将 温 度 传 感 器 嵌 入 晶 圆 集 成 ， 实 现 了 晶 圆 本 体 与 传 感 单 元 的 无 缝 融 合 。 传 感 器 采 用 I C 传 感 器 ， 具 备 ± 0 . 1 ℃ 的 测 量 精 度 和 1 0 m s 级 快 速 响 应 特 性 ， 可 实 . . . 0 4 2 4 瑞 乐 半 导 体 — — O n W a f e r W L S E H 无 线 晶 圆 测 温 系 统 半 导 体 制 造 工 艺 温 度 监 控 的 革 新 方 案 0 4 2 4 瑞 乐 半 导 体 — — A V S 无 线 校 准 测 量 晶 圆 系 统 让 每 一 片 晶 圆 都 安 全 抵 达 终 点 0 2 2 2 瑞 乐 半 导 体 系 列 产 品 | 功 能 性 W a f e r | A V S 晶 圆 型 振 动 量 测 片 0 2 2 2 瑞 乐 半 导 体 系 列 产 品 | 功 能 性 W a f e r | A V L S 晶 圆 型 振 动 水 平 测 量 校 准 片 0 2 2 2 瑞 乐 半 导 体 系 列 产 品 | 功 能 性 W a f e r | A M S 晶 圆 型 多 功 能 测 试 片 0 2 2 2 瑞 乐 半 导 体 系 列 产 品 | 功 能 性 W a f e r | A T S 晶 圆 型 中 心 校 准 片 查 看 更 多 常 见 问 题 / F A Q 问 T C W a f e r （ 温 度 传 感 器 晶 圆 ） 的 相 关 信 息 答 T C W a f e r （ 温 度 传 感 器 晶 圆 ） 的 相 关 信 息 可 以 从 行 业 和 产 品 两 个 维 度 进 行 介 绍 ： 行 业 信 息 T C W a f e r 在 半 导 体 行 业 中 扮 演 着 至 关 重 要 的 角 色 。 在 半 导 体 制 造 过 程 中 ， 温 度 是 一 个 至 关 重 要 的 参 数 ， 因 为 温 度 控 制 对 于 保 证 良 好 的 晶 圆 质 量 和 性 能 非 常 重 要 。 T C W a f e r . . . 问 晶 圆 测 温 系 统 ： 半 导 体 制 造 的 关 键 技 术 答 晶 圆 测 温 系 统 是 一 种 用 于 精 确 测 量 半 导 体 晶 圆 表 面 温 度 的 设 备 ， 对 于 半 导 体 制 造 过 程 中 的 温 度 控 制 至 关 重 要 。 随 着 半 导 体 技 术 的 快 速 发 展 ， 晶 圆 温 度 的 控 制 和 测 量 变 得 越 来 越 重 要 ， 晶 圆 测 温 系 统 也 随 之 不 断 进 步 和 完 善 。 晶 圆 测 温 系 统 采 用 热 电 偶 或 热 电 阻 作 为 传 感 器 ， 通 过 测 量 传 感 器 产 生 . . . 问 引 领 未 来 科 技 ， 精 准 把 控 芯 片 之 心 — — 革 新 晶 圆 测 温 系 统 答 引 领 未 来 科 技 ， 精 准 把 控 芯 片 之 心 — — 革 新 晶 圆 测 温 系 统 震 撼 发 布 ！ 在 微 纳 世 界 的 精 密 舞 台 上 ， 每 一 度 的 温 度 变 化 都 关 乎 着 芯 片 的 卓 越 性 能 与 长 久 寿 命 。 为 此 ， 我 们 自 豪 地 推 出 全 新 一 代 晶 圆 测 温 系 统 ， 以 卓 越 的 创 新 力 ， 重 塑 行 业 测 温 标 准 。 【 晶 圆 测 温 系 统 】 本 系 统 采 用 前 沿 的 红 外 . . . 问 T C W a f e r （ 热 电 偶 片 ） 作 为 一 种 关 键 的 温 度 测 量 设 备 答 在 半 导 体 行 业 中 ， 【 T C W a f e r 】 （ 热 电 偶 片 ） 作 为 一 种 关 键 的 温 度 测 量 设 备 ， 发 挥 着 不 可 或 缺 的 作 用 。 T C W a f e r ， 也 被 称 为 硅 片 测 温 仪 或 晶 圆 测 温 仪 ， 由 高 精 度 的 热 电 偶 材 料 和 硅 片 精 心 制 成 ， 专 为 监 测 晶 圆 上 各 个 位 置 的 温 度 分 布 而 设 计 。 半 导 体 制 造 过 程 中 ， 温 度 是 一 . . . 问 A T S 无 线 晶 圆 校 准 与 测 量 系 统 瑞 乐 科 技 答 A T S 无 线 晶 圆 校 准 与 测 量 系 统 巧 妙 地 融 合 了 机 器 视 觉 与 传 感 器 模 块 ， 将 其 集 成 于 晶 圆 之 上 ， 从 而 能 够 精 准 捕 捉 晶 圆 的 偏 移 数 据 （ 包 括 x 轴 和 y 轴 ） 。 这 一 创 新 功 能 使 得 晶 圆 传 输 位 置 的 快 速 校 准 成 为 可 能 ， 为 半 导 体 制 程 提 供 了 无 与 伦 比 的 晶 圆 定 位 精 度 。 产 品 亮 点 ： 实 时 测 量 反 馈 ： 系 统 能 . . . 问 A M S 无 线 晶 圆 校 准 与 测 量 体 系 ： 半 导 体 行 业 的 创 新 力 量 答 在 半 导 体 行 业 中 ， 精 度 和 效 率 是 至 关 重 要 的 。 随 着 技 术 的 不 断 进 步 ， 对 于 生 产 设 备 的 调 试 和 生 产 过 程 的 控 制 也 提 出 了 更 高 的 要 求 。 在 这 一 背 景 下 ， A M S 无 线 晶 圆 校 准 与 测 量 体 系 应 运 而 生 ， 成 为 半 导 体 行 业 中 的 一 股 创 新 力 量 。 【 无 线 晶 圆 测 温 系 统 】 A M S 体 系 通 过 无 线 技 术 ， 实 现 了 对 . . . 全 国 咨 询 热 线 ： 微 信 同 号 1 3 7 0 2 9 7 0 0 2 0 Q U I C K L I N K S 首 页 走 进 瑞 乐 产 品 中 心 应 用 领 域 行 业 前 沿 联 系 我 们 C O N T A C T U S 地 址 ： 广 东 省 佛 山 市 南 海 区 狮 山 镇 小 塘 工 业 大 道 8 2 号 万 洋 众 创 城 二 期 5 栋 咨 询 ： 1 3 7 0 2 9 7 0 0 2 0 （ 微 信 同 号 ） 固 话 ： 0 7 5 7 6 3 8 5 7 1 2 8 ， 6 3 8 5 7 1 3 8 邮 箱 ： s u w e i q i a n g @ r y b d . c o m . c n S E R V I C E 热 线 电 话 ： 1 3 7 0 2 9 7 0 0 2 0 在 线 咨 询 关 注 我 们 了 解 更 多 粤 I C P 备 1 8 0 2 5 6 2 8 号 技 术 支 持 ： 希 立 科 技 > 微 信 1 3 7 0 2 9 7 0 0 2 0 > 电 话

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