上海德竹芯源科技有限公司
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于半导体前道工艺、后道封装和器件测试设备的销售、系统集成、设备国产化和技术服务的高科技公司。在功率器件、光电器件、MEMS传感器、射频器件、量子器件等应用领域有丰富的经验。主要产品有:键合机、匀胶热板显影设备、刻蚀沉积设备(RIE/PVD/CVD/ALD)、椭偏仪、XRF/XRD、扫描俄歇纳米探针、探针台、半导体参数分析仪、5G通信测试系统等。
研微半导体科技有限公司
专注于⾼端ALD、PECVD以及特⾊外延设备技术,⽣产具有⾃主知识产权且具备国际竞争⼒的产品,涵盖tALD、PEALD、Si/GeEPI、SiCEPI、PECVD等核⼼技术,产品⼴泛应⽤于⾼端集成电路、功率器件、射频元件及先进封装领域。