研 微 半 导 体 科 技 有 限 公 司 P S R 研 微 半 导 体 薄 膜 沉 积 设 备 高 端 制 程 先 进 封 装 三 代 半 器 件 原 子 层 沉 积 等 离 子 体 沉 积 硅 锗 外 延 选 择 性 刻 蚀 碳 化 硅 外 延 首 页 关 于 研 微 企 业 简 介 企 业 文 化 资 质 荣 誉 发 展 历 程 社 会 责 任 市 场 应 用 半 导 体 芯 片 制 造 先 进 封 装 特 色 工 艺 科 研 及 其 他 S p r i t z 系 列 F l u x u s 系 列 A u r a t u s 系 列 A u r o a l i s 系 列 P e r f e c t u s R 系 列 S p r i t z 系 列 喷 淋 头 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c H K M G D R A M b W L , S N 区 域 填 充 N A N D W L C I S D T C M I M F l u x u s 系 列 层 状 流 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 逻 辑 F E O L H i g h k / D i p o l e   D R A M P e r i H i g h k C I S M I M A u r a t u s 系 列 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S A u r o a l i s 系 列 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S P e r f e c t u s R 系 列 减 压 外 延 设 备 市 场 应 用 高 端 芯 片 所 需 的 N M O S / P M O S / C h a n n e l s i / C h a n n e l s i G e / 纯 G e A u r a t u s 系 列 A u r o a l i s 系 列 A u r a t u s 系 列 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S A u r o a l i s 系 列 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S P e r f e c t u s A 系 列 T o r r i d u s 系 列 P e r f e c t u s A 系 列 常 压 外 延 设 备 市 场 应 用 硅 片 外 延 层 功 率 器 件 C I S 传 感 器 M E M S T o r r i d u s 系 列 碳 化 硅 外 延 设 备 市 场 应 用 储 能 充 电 桩 光 伏 轨 道 交 通 新 能 源 汽 车 产 品 技 术 T h e r m a l A L D | 热 原 子 层 沉 积 设 备 P E A L D | 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 E P I | 硅 锗 外 延 设 备 P E C V D | 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 S i C E P I | 碳 化 硅 外 延 设 备 A L E | 原 子 层 刻 蚀 设 备 S p r i t z 系 列 F l u x u s 系 列 S p r i t z 系 列 喷 淋 头 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c H K M G D R A M b W L , S N 区 域 填 充 N A N D W L C I S D T C M I M F l u x u s 系 列 层 状 流 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 逻 辑 F E O L H i g h k / D i p o l e   D R A M P e r i H i g h k C I S M I M A u r a t u s 系 列 A u r a t u s 系 列 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S P e r f e c t u s R 系 列 P e r f e c t u s A 系 列 P e r f e c t u s R 系 列 减 压 外 延 设 备 市 场 应 用 高 端 芯 片 所 需 的 N M O S / P M O S / C h a n n e l s i / C h a n n e l s i G e / 纯 G e P e r f e c t u s A 系 列 常 压 外 延 设 备 市 场 应 用 硅 片 外 延 层 功 率 器 件 C I S 传 感 器 M E M S A u r o a l i s 系 列 A u r o a l i s 系 列 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M 3 D N A N D 先 进 封 装 C I S T o r r i d u s 系 列 T o r r i d u s 系 列 碳 化 硅 外 延 设 备 市 场 应 用 储 能 充 电 桩 光 伏 轨 道 交 通 新 能 源 汽 车 E l e g i t o 系 列 E l e g i t o 系 列 选 择 性 刻 蚀 设 备 市 场 应 用 L o g i c D R A M N A N D 第 三 代 半 导 体 部 件 及 服 务 服 务 支 持 服 务 网 络 部 件 支 持 新 闻 活 动 企 业 动 态 展 会 活 动 招 贤 纳 士 加 入 研 微 人 才 理 念 薪 酬 福 利 联 系 我 们 联 系 我 们 客 户 入 口 供 应 商 入 口 E N E N 中 文 E N C H 关 于 研 微 企 业 简 介 企 业 文 化 资 质 荣 誉 发 展 历 程 社 会 责 任 市 场 应 用 半 导 体 芯 片 制 造 先 进 封 装 特 色 工 艺 科 研 及 其 他 产 品 技 术 T h e r m a l A L D | 热 原 子 层 沉 积 设 备 P E A L D | 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 E P I | 硅 锗 外 延 设 备 P E C V D | 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 S i C E P I | 碳 化 硅 外 延 设 备 A L E | 原 子 层 刻 蚀 设 备 部 件 及 服 务 服 务 支 持 服 务 网 络 部 件 支 持 新 闻 活 动 企 业 动 态 展 会 活 动 招 贤 纳 士 加 入 研 微 人 才 理 念 薪 酬 福 利 联 系 我 们 联 系 我 们 客 户 入 口 供 应 商 入 口 首 页 关 于 研 微 企 业 简 介 企 业 文 化 资 质 荣 誉 发 展 历 程 社 会 责 任 市 场 应 用 半 导 体 芯 片 制 造 S p r i t z 系 列 F l u x u s 系 列 A u r a t u s 系 列 A u r o a l i s 系 列 P e r f e c t u s R 系 列 先 进 封 装 A u r a t u s 系 列 A u r o a l i s 系 列 特 色 工 艺 P e r f e c t u s A 系 列 T o r r i d u s 系 列 科 研 及 其 他 产 品 技 术 T h e r m a l A L D | 热 原 子 层 沉 积 设 备 S p r i t z 系 列 F l u x u s 系 列 P E A L D | 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 A u r a t u s 系 列 E P I | 硅 锗 外 延 设 备 P e r f e c t u s R 系 列 P e r f e c t u s A 系 列 P E C V D | 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 A u r o a l i s 系 列 S i C E P I | 碳 化 硅 外 延 设 备 T o r r i d u s 系 列 A L E | 原 子 层 刻 蚀 设 备 E l e g i t o 系 列 部 件 及 服 务 服 务 支 持 服 务 网 络 部 件 支 持 新 闻 活 动 企 业 动 态 展 会 活 动 招 贤 纳 士 加 入 研 微 人 才 理 念 薪 酬 福 利 联 系 我 们 联 系 我 们 客 户 入 口 供 应 商 入 口 砥 志 研 思 · 积 微 成 著 致 力 于 高 端 A L D 、 特 色 外 延 和 P E C V D 设 备 的 开 发 及 应 用 提 供 全 方 位 客 户 支 持 引 领 原 子 级 制 造 技 术 ， 开 拓 高 端 微 纳 设 备 前 沿 S C R O L L 向 下 滚 动 研 微 （ 江 苏 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 是 由 十 多 名 海 外 名 校 博 士 创 立 的 半 导 体 设 备 公 司 公 司 专 注 于 高 端 A L D 、 P E C V D 以 及 特 色 外 延 设 备 技 术 ， 生 产 具 有 自 主 知 识 产 权 且 具 备 国 际 竞 争 力 的 产 品 ， 涵 盖 T h e r m a l A L D 、 P E A L D 、 S I E P I 、 S i C E P I 、 P E C V D 等 ， 产 品 广 泛 应 用 于 高 端 集 成 电 路 、 功 率 器 件 、 射 频 元 件 及 先 进 封 装 领 域 。 走 进 研 微 联 系 我 们 S p r i t z 喷 淋 头 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 研 微 热 原 ⼦ 层 沉 积 设 备 （ S h o w e r h e a d T h e r m a l A L D ） : S p r i t z , 基 于 喷 淋 头 腔 体 架 构 ， 采 用 了 双 腔 设 计 ， 搭 配 高 产 能 的 C e l e r i t a s 8 传 输 和 智 能 化 的 E x s e q u i 软 件 平 台 ， 极 大 的 提 升 了 设 备 的 产 能 和 稳 定 性 。 此 外 S p r i t z 配 备 了 先 进 的 进 气 、 混 气 以 及 匀 流 系 统 ， 可 以 极 大 的 提 升 薄 膜 均 匀 性 并 降 低 颗 粒 的 产 生 ， 多 区 温 控 系 统 能 有 效 的 降 低 喷 淋 头 区 域 的 颗 粒 的 产 生 ， 原 位 清 洗 能 有 效 提 升 腔 体 寿 命 并 极 大 降 低 客 户 的 使 用 成 本 。 S p r i t z 可 广 泛 用 于 H K M G 金 属 层 沉 积 、 N A N D W L 、 D R A M b W L 和 S N 区 域 的 薄 膜 填 充 。 查 看 详 情 F l u x u s 层 状 流 热 场 原 子 层 沉 积 设 备 研 微 热 原 ⼦ 层 沉 积 设 备 （ C r o s s f l o w T h e r m a l A L D ） : F l u x u s , 基 于 层 状 流 腔 体 架 构 ， 创 新 性 的 双 腔 设 计 ， 搭 配 高 产 能 的 C e l e r i t a s 8 传 输 和 智 能 化 的 E x s e q u i 软 件 平 台 ， 极 大 的 提 升 了 设 备 的 产 能 和 稳 定 性 。 此 外 F l u x u s 配 备 了 多 种 先 进 的 核 心 部 件 ， 极 大 的 提 升 了 腔 体 稳 定 性 、 薄 膜 均 匀 性 、 腔 体 寿 命 ， 如 最 先 进 的 固 体 源 传 输 系 统 有 效 的 保 证 了 反 应 源 传 输 的 稳 定 性 ， W a f e r I n d e x i n g 系 统 能 有 效 的 帮 助 薄 膜 均 匀 性 的 提 升 。 F l u x u s 可 被 用 于 L o g i c F E O L H i g h k / D i p o l e 、 D R A M P e r i H i g h k 等 薄 膜 沉 积 。   查 看 详 情 A u r a t u s 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 研 微 等 离 ⼦ 体 增 强 原 ⼦ 层 沉 积 设 备 （ P E A L D ） : A u r a t u s ， 搭 载 研 微 双 反 应 平 台 C e l e r i t a s 8 ， 支 持 8 片 晶 圆 在 独 立 反 应 腔 内 成 膜 ， 同 时 满 足 高 产 能 和 高 膜 质 的 需 求 。 A u r a t u s 系 列 产 品 凭 借 极 致 的 A L D 小 腔 体 ， 优 化 的 流 场 、 热 场 及 R F 回 路 设 计 ， 具 有 高 稳 定 性 、 高 腔 体 间 匹 配 度 、 高 稼 动 率 、 低 前 驱 体 消 耗 等 优 势 ， 为 集 成 电 路 和 先 进 封 装 等 客 户 提 供 高 效 稳 定 的 量 产 解 决 方 案 。 查 看 详 情 A u r o a l i s 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 研 微 等 离 ⼦ 体 增 强 化 学 ⽓ 相 沉 积 设 备 （ P E C V D ） : A u r o a l i s ， 搭 载 研 微 双 反 应 平 台 C e l e r i t a s 8 ， 支 持 8 片 晶 圆 在 独 立 反 应 腔 内 成 膜 ， 同 时 满 足 高 产 能 和 高 膜 质 的 需 求 。 A u r o a l i s 系 列 产 品 通 过 优 化 的 流 场 、 热 场 及 R F 回 路 设 计 保 证 了 工 艺 的 高 稳 定 性 ； 陶 瓷 静 电 吸 盘 选 项 为 解 决 晶 圆 翘 曲 问 题 提 供 了 保 障 ； 腔 室 组 件 材 料 和 表 面 处 理 流 程 的 优 化 使 得 颗 粒 问 题 得 到 有 效 控 制 。 A u r o a l i s 为 从 平 面 架 构 到 高 深 宽 比 3 D 结 构 的 广 大 客 户 群 提 供 用 于 多 种 器 件 类 型 和 工 艺 节 点 的 解 决 方 案 。 查 看 详 情 P e r f e c t u s R 减 压 外 延 设 备 研 微 减 压 外 延 设 备 （ R P E P I ） ： P e r f e c t u s R ， 硅 外 延 工 艺 是 指 在 单 晶 衬 底 上 生 长 一 层 跟 衬 底 具 有 相 同 晶 格 排 列 的 单 晶 材 料 ， P e r f e c t u s R 主 要 应 用 于 异 质 外 延 层 ( S i G e / S i 或 是 S i P / S i ) 生 长 。 旨 在 逻 辑 芯 片 高 端 C M O S 工 艺 上 提 高 电 子 或 是 空 穴 的 迁 移 率 ， 进 而 提 升 器 件 性 能 。 查 看 详 情 新 闻 媒 体 企 业 动 态 2 0 2 5 . 0 1 . 1 3 研 微 产 学 研 合 作 北 大 宽 禁 带 实 验 室 沈 波 教 授 莅 临 研 微 指 导 2 0 2 4 . 1 1 . 2 2 研 微 半 导 体 ： 两 载 风 华 ， 设 备 交 付 铸 新 章 ！ 展 会 信 息 S E M I C O N   C H I N A 时 间 ： 2 0 2 5 年 3 月 2 6 日 2 8 日 地 点 ： 中 国 · 上 海 （ 上 海 新 国 际 博 览 中 心 ） 展 位 ： 研 微 展 位 ： N 1 6 0 7 （ N 1 馆 ） C S E A C   半 导 体 设 备 年 会 时 间 ： 2 0 2 5 年 9 月 3 日 5 日 地 点 ： 中 国 · 无 锡 （ 无 锡 市 太 湖 国 际 博 览 中 心 ） 展 位 ： 研 微 展 位 ： A 1 6 6 （ A 1 馆 ） S E M i B A Y 湾 芯 展 时 间 ： 2 0 2 5 年 1 0 月 1 5 日 1 7 日 地 点 ： 中 国 · 深 圳 （ 深 圳 会 展 中 心 福 田 ） 展 位 ： 研 微 展 位 ： 1 N 0 6 （ 1 号 馆 ） 综 合 服 务 产 品 支 持 招 贤 纳 士 联 系 我 们 产 品 支 持 招 贤 纳 士 联 系 我 们 完 善 的 客 户 支 持 体 系 专 业 且 经 验 丰 富 的 现 场 支 持 团 队 研 微 提 供 从 设 备 安 装 、 系 统 启 动 、 技 术 培 训 到 零 部 件 供 应 和 售 后 服 务 包 等 ； 致 力 于 覆 盖 每 一 个 服 务 环 节 ， 在 保 修 期 内 及 保 修 期 后 提 供 全 天 候 的 现 场 支 持 服 务 ， 确 保 快 速 有 效 地 解 决 客 户 问 题 销 售 咨 询 s a l e s @ p s r s e m i . c o m 招 贤 纳 士 研 微 半 导 体 秉 持 ” 科 技 主 导 ， 人 才 驱 动 “ 的 理 念 自 成 立 以 来 , 一 直 以 技 术 创 新 为 豪 ， 与 优 秀 人 才 为 伍 、 作 为 一 家 自 主 研 发 的 半 导 体 设 备 公 司 期 待 更 多 具 有 创 新 精 神 和 专 业 技 能 的 优 秀 人 才 加 入 我 们 与 研 微 携 手 同 行 ， 共 创 未 来 人 才 招 聘 h r @ p s r s e m i . c o m 供 应 链 合 作 s o u r c i n g @ p s r s e m i . c o m 服 务 热 线 ： 0 5 1 0 8 3 5 5 7 7 0 7 官 方 邮 箱 ： i n f o @ p s r s e m i . c o m 地 址 ： 江 苏 · 无 锡 经 济 开 发 区 关 于 研 微 企 业 简 介 企 业 文 化 资 质 荣 誉 发 展 历 程 社 会 责 任 市 场 应 用 半 导 体 芯 片 制 造 先 进 封 装 特 色 工 艺 科 研 及 其 他 产 品 技 术 T h e r m a l A L D | 热 原 子 层 沉 积 设 备 P E A L D | 等 离 子 体 增 强 原 子 层 沉 积 设 备 E P I | 硅 锗 外 延 设 备 P E C V D | 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 设 备 S i C E P I | 碳 化 硅 外 延 设 备 A L E | 原 子 层 刻 蚀 设 备 部 件 及 服 务 服 务 支 持 服 务 网 络 部 件 支 持 新 闻 活 动 企 业 动 态 展 会 活 动 招 贤 纳 士 加 入 研 微 人 才 理 念 薪 酬 福 利 联 系 我 们 联 系 我 们 客 户 入 口 供 应 商 入 口 C o p y r i g h t 2 0 2 5 研 微 （ 江 苏 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 版 权 所 有 苏 I C P 备 2 0 2 3 0 0 4 2 1 9 号 1 品 牌 建 设 ： 山 久 D E S I G N

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