氮 化 镓 （ G a N ） 器 件 应 用 技 术 , 氮 化 镓 器 件 发 展 动 向 G a N H E M T 氮 化 镓 科 技 汇 首 页 技 术 前 瞻 氮 化 镓 功 率 器 件 氮 化 镓 M O S 氮 化 镓 二 极 管 关 于 我 们 技 术 前 瞻 用 热 反 射 测 温 技 术 测 量 G a N H E M T 的 瞬 态 2 0 2 2 0 4 0 1 阅 读 ( 2 0 4 4 ) 第 三 代 半 导 体 器 件 C a N 高 电 子 迁 移 率 晶 体 管 （ H E M T ） 具 备 较 高 的 功 率 密 度 ， 同 时 具 有 较 强 的 自 热 效 应 ， 在 大 功 率 工 作 条 件 下 会 产 生 较 高 的 结 温 。 根 据 半 导 体 器 件 . . . 技 术 前 瞻 氮 化 镓 中 铬 含 量 的 二 次 离 子 质 谱 分 2 0 2 1 1 2 0 7 阅 读 ( 6 7 3 ) 氮 化 镓 材 料 禁 带 宽 度 较 大 ， 是 宽 禁 带 半 导 体 之 一 ， 被 广 泛 用 作 微 波 功 率 晶 体 管 和 蓝 色 光 发 光 器 件 的 生 产 制 造 原 材 料 。 氮 化 镓 材 料 的 探 究 与 使 用 是 目 前 全 世 界 . . . 氮 化 镓 功 率 器 件 一 种 阳 极 连 接 P 型 埋 层 的 A l G a N / G a N 肖 特 2 0 2 1 0 9 2 4 阅 读 ( 1 8 5 3 ) 最 近 ， A l G a N / G a N 肖 特 基 二 极 管 （ S B D ） 受 到 了 越 来 越 多 的 关 注 。 该 器 件 具 有 关 断 速 度 快 、 击 穿 电 压 高 导 通 电 阻 小 等 特 点 ， 因 而 被 业 界 广 泛 地 认 为 是 下 一 代 功 率 器 . . . 氮 化 镓 功 率 器 件 绝 缘 栅 H E M T 器 件 界 面 固 定 电 荷 分 析 2 0 2 1 0 9 1 4 阅 读 ( 2 8 9 7 ) 绝 缘 栅 H E M T 器 件 中 除 了 存 在 界 面 态 外 ， 栅 绝 缘 层 还 会 在 界 面 引 入 固 定 电 荷 和 体 电 荷 ， 研 究 表 明 栅 绝 缘 层 与 氮 化 物 势 垒 层 之 间 界 面 固 定 电 荷 密 度 可 以 高 达 1 0 1 3 . . . 技 术 前 瞻 A l 2 O 3 / A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 结 构 与 特 2 0 2 1 0 3 0 9 阅 读 ( 3 7 5 9 ) 1 . 器 件 结 构 与 工 艺 通 过 A l N 栅 介 质 层 M I S H E M T 和 A l 2 O 3 栅 介 质 层 M O S H E M T 器 件 对 比 研 究 发 现 ， P E A L D 沉 积 A l N 栅 绝 缘 层 可 以 大 幅 改 善 绝 缘 栅 器 件 的 界 面 和 沟 道 输 运 特 性 ； 但 . . . 技 术 前 瞻 A I N / A I G a N / G a N M I S 异 质 结 构 C V 分 析 2 0 2 1 0 1 1 3 阅 读 ( 5 4 7 9 ) C V 测 试 是 研 究 绝 缘 栅 H E M T 器 件 性 能 的 重 要 方 法 ， 采 用 K e i t h l e y 4 2 0 0 半 导 体 表 征 系 统 的 C V U 模 块 测 量 了 肖 特 基 栅 和 绝 缘 栅 异 质 结 构 的 C V 特 性 。 1 . C V 曲 线 及 载 流 子 浓 . . . 技 术 前 瞻 4 英 寸 半 绝 缘 自 支 撑 氮 化 镓 晶 圆 片 量 2 0 2 0 1 2 1 6 阅 读 ( 2 3 7 7 ) 由 于 同 质 外 延 结 构 带 来 的 晶 格 匹 配 和 热 匹 配 ， 自 支 撑 氮 化 镓 衬 底 在 提 升 氮 化 镓 基 器 件 性 能 方 面 有 着 巨 大 潜 力 ， 如 发 光 二 极 管 ， 激 光 二 极 管 ， 功 率 器 件 和 射 频 . . . 氮 化 镓 功 率 器 件 A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 直 流 特 性 2 0 2 0 1 1 0 3 阅 读 ( 5 4 2 6 ) 1 . 栅 漏 电 分 析 关 态 漏 电 是 制 约 H E M T 器 件 性 能 提 升 的 重 要 因 素 之 一 ， 采 用 绝 缘 栅 H E M T 器 件 结 构 可 以 有 效 减 小 器 件 关 态 漏 电 。 图 1 给 出 了 S H E M T 、 M I S H E M T 、 M O S H E M T 三 种 . . . 氮 化 镓 功 率 器 件 A l N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 制 作 2 0 2 0 1 0 2 7 阅 读 ( 3 6 3 0 ) 1 . 器 件 结 构 与 工 艺 绝 缘 栅 和 肖 特 基 栅 H E M T 器 件 结 构 如 图 1 所 示 ， A l G a N / G a N 异 质 结 采 用 M O C V D 技 术 在 2 英 寸 c 面 蓝 宝 石 衬 底 上 外 延 得 到 ， 由 下 往 上 依 次 为 1 8 0 n m 高 温 A l N 成 核 . . . 氮 化 镓 功 率 器 件 A l N 钝 化 器 件 电 流 崩 塌 分 析 2 0 2 0 1 0 2 1 阅 读 ( 3 1 6 3 ) 电 流 崩 塌 和 关 态 栅 漏 电 一 样 ， 是 制 约 G a N 基 H E M T 器 件 发 展 的 非 常 重 要 的 因 素 之 一 ， 一 方 面 表 现 为 ， 在 脉 冲 测 试 条 件 下 漏 极 输 出 电 流 与 直 流 特 性 相 比 大 幅 减 小 ； 另 . . . 关 于 本 站 氮 化 镓 科 技 汇 （ G a N H E M T ） 是 氮 化 镓 器 件 资 讯 类 网 站 ， 以 氮 化 镓 器 件 为 中 心 ， 从 晶 圆 制 造 ， 到 器 件 应 用 。 希 望 各 位 同 仁 提 出 宝 贵 意 见 ， 联 系 电 话 ： + 8 6 7 5 5 2 9 6 9 1 3 1 0 邮 箱 ： m a r k e t i n g @ h s m s e m i . c o m 最 近 发 表 用 热 反 射 测 温 技 术 测 量 G a N H E M T 的 瞬 态 氮 化 镓 中 铬 含 量 的 二 次 离 子 质 谱 分 一 种 阳 极 连 接 P 型 埋 层 的 A l G a N / G a N 肖 特 绝 缘 栅 H E M T 器 件 界 面 固 定 电 荷 分 析 A l 2 O 3 / A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 结 构 与 特 A I N / A I G a N / G a N M I S 异 质 结 构 C V 分 析 4 英 寸 半 绝 缘 自 支 撑 氮 化 镓 晶 圆 片 量 A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 直 流 特 性 A l N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 制 作 A l N 钝 化 器 件 电 流 崩 塌 分 析 友 情 链 接 I G B T 模 块 快 恢 复 二 极 管 晶 振 氮 化 镓 （ G a N ） 器 件 应 用 技 术 , 氮 化 镓 器 件 发 展 动 向 G a N H E M T 氮 化 镓 科 技 汇 注 意 ： 本 站 内 容 均 转 载 整 理 自 互 联 网 ， 如 有 侵 犯 权 益 ， 请 联 系 我 们 删 除 C o p y r i g h t © 2 0 1 8 2 0 1 9 版 权 所 有 海 飞 乐 技 术 有 限 公 司 粤 I C P 备 1 6 0 5 7 8 3 9 号

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