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上海联肯光电技术有限公司
上海联肯光电技术有限公司致力于跟踪世界先进技术,专注于持续提供国际领先的产品和解决方案。在高端特种光学材料、光电元器件与子系统、光电解决方案、光学制造装备、及光电传感工程解决方案等领域为客户提增值产品和服务。产品广泛应用于高端光学制造、天文光学、空间光学、高能激光、光电制导、半导体光学等领域。
费勉仪器科技
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离子注入
Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台,金属Al离子源,全自动晶片传输系统。