专注于⾼端ALD、PECVD以及特⾊外延设备技术，⽣产具有⾃主知识产权且具备国际竞争⼒的产品，涵盖tALD、PEALD、Si/GeEPI、SiCEPI、PECVD等核⼼技术，产品⼴泛应⽤于⾼端集成电路、功率器件、射频元件及先进封装领域。
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