湖 州 普 利 姆 半 导 体 有 限 公 司 , 晶 圆 移 载 系 统 , 晶 圆 校 准 器 , 晶 圆 装 载 系 统 , 精 密 气 浮 运 动 平 台 , 半 导 体 E N G L I S H W H A T S P r i m C O I N N O V A T I O N 晶 圆 移 载 E F E M — — — — 超 精 密 零 部 件 — — — — 纳 米 运 动 控 制 — — — — 新 闻 资 讯 新 闻 资 讯 1 5 2 0 2 5 / 0 9 湖 州 普 利 姆 半 导 体 有 限 公 司 ： 纳 米 级 精 度 的 半 导 体 制 造 革 命 在 半 导 体 制 造 迈 向 3 n m 及 以 下 制 程 的 进 程 中 ， 湖 州 普 利 姆 半 导 体 有 限 公 司 通 过 自 主 研 发 的 晶 圆 校 准 器 、 气 浮 旋 转 轴 、 晶 圆 装 载 系 统 及 晶 圆 对 准 台 等 核 心 设 备 ， 构 建 了 纳 米 级 精 度 的 完 整 技 术 矩 阵 。 其 技 术 突 破 不 仅 填 补 了 国 内 高 端 半 导 体 装 备 的 空 白 ， 更 推 动 了 全 球 半 导 体 制 造 向 更 高 精 度 与 效 率 迈 进 。 1 0 2 0 2 5 / 0 9 半 导 体 精 密 设 备 技 术 分 析 在 3 n m 及 以 下 制 程 的 半 导 体 制 造 中 ， 晶 圆 对 准 台 、 装 载 系 统 与 搬 运 机 械 手 构 成 纳 米 级 精 度 的 核 心 装 备 矩 阵 。 晶 圆 对 准 台 通 过 光 学 传 感 与 纳 米 级 运 动 控 制 实 现 晶 圆 位 置 校 准 （ 误 差 ≤ ± 0 . 1 m m ） ， 其 关 键 技 术 包 括 ： 0 5 2 0 2 5 / 0 9 半 导 体 精 密 制 造 中 的 陶 瓷 技 术 在 半 导 体 制 造 中 ， 晶 圆 搬 运 需 要 亚 微 米 级 的 定 位 精 度 和 零 污 染 操 作 。 陶 瓷 片 叉 作 为 晶 圆 传 输 的 核 心 部 件 ， 采 用 氧 化 铝 或 氮 化 硅 陶 瓷 制 成 ， 具 备 高 硬 度 、 低 热 膨 胀 系 数 及 优 异 的 化 学 稳 定 性 。 其 表 面 经 过 精 密 抛 光 处 理 ， 可 避 免 搬 运 过 程 中 对 晶 圆 边 缘 的 机 械 损 伤 ， 同 时 耐 受 刻 蚀 机 中 的 强 腐 蚀 性 气 体 环 境 。 湖 州 普 利 姆 半 导 体 通 过 优 化 陶 瓷 材 料 配 比 与 烧 结 工 艺 ， 使 其 片 叉 产 品 在 抗 弯 强 度 与 耐 磨 性 上 达 到 行 业 领 先 水 平 ， 有 效 降 低 了 设 备 维 护 频 率 。 0 3 2 0 2 5 / 0 9 半 导 体 制 造 中 的 精 密 设 备 与 技 术 ： 晶 圆 校 准 器 、 陶 瓷 片 叉 与 搬 运 系 统 晶 圆 校 准 器 是 现 代 半 导 体 制 造 中 确 保 加 工 精 度 的 核 心 设 备 ， 其 工 作 原 理 基 于 高 精 度 的 光 学 传 感 器 和 激 光 测 量 技 术 。 通 过 投 射 激 光 束 到 晶 圆 表 面 ， 测 量 激 光 反 射 回 来 的 时 间 和 角 度 ， 系 统 能 够 计 算 出 晶 圆 的 实 际 位 置 。 一 旦 识 别 出 偏 差 ， 校 准 器 会 利 用 微 调 机 制 对 晶 圆 进 行 自 动 调 整 ， 确 保 其 在 加 工 中 心 内 处 于 正 确 的 位 置 （ 误 差 ≤ ± 0 . 1 m m ） 。 0 1 2 0 2 5 / 0 9 半 导 体 制 造 中 的 精 密 设 备 与 技 术 突 破 在 半 导 体 制 造 迈 向 3 n m 及 以 下 制 程 的 进 程 中 ， 晶 圆 处 理 设 备 的 精 度 直 接 决 定 了 芯 片 良 率 与 性 能 。 作 为 现 代 芯 片 制 造 的 “ 搬 运 工 ” 与 “ 定 位 仪 ” ， 晶 圆 移 载 系 统 、 校 准 器 及 搬 运 机 械 手 构 成 了 生 产 线 的 三 大 核 心 装 备 。 其 中 ， 晶 圆 移 载 系 统 通 过 真 空 吸 附 与 多 轴 协 同 运 动 ， 实 现 晶 圆 在 工 艺 腔 室 间 的 无 损 传 输 ； 晶 圆 校 准 器 则 利 用 光 学 传 感 与 纳 米 级 运 动 控 制 ， 确 保 晶 圆 在 光 刻 、 刻 蚀 等 关 键 工 序 中 的 位 置 精 度 （ 误 差 ≤ ± 0 . 1 m m ） ； 而 搬 运 机 械 手 通 过 智 能 算 法 与 高 刚 性 结 构 ， 完 成 每 小 时 数 百 片 晶 圆 的 快 速 抓 取 与 放 置 。 这 些 设 备 的 协 同 运 作 ， 将 半 导 体 制 造 从 “ 微 米 级 ” 推 向 了 “ 纳 米 级 ” 时 代 。 新 闻 列 表 企 业 信 息 公 司 简 介 公 司 实 力 我 们 的 优 势 经 营 理 念 公 司 历 程 国 内 外 基 地 联 系 我 们 产 品 信 息 晶 圆 移 载 E F E M 纳 米 运 动 控 制 超 精 密 零 部 件 新 闻 列 表 查 询 隐 私 政 策 E n g l i s h 查 询 表 单 © 普 利 姆 A l l r i g h t s r e s e r v e d . 浙 I C P 备 2 0 2 3 0 2 5 6 4 0 号 1 × 长 按 屏 幕 识 别 二 维 码 打 开 手 机 扫 描 二 维 码 × × 请 选 择 一 种 导 航 方 式 取 消 友 情 链 接 : 无 锡 半 导 体 行 业 品 牌 排 名 电 子 发 烧 友 云 计 算 支 持 反 馈 枢 纽 云 管 理

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